技術(shù)編號：3378268
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種太陽能電池PECVD工序中用于防止PECVD鍍膜邊緣發(fā)紅的直ο背景技術(shù)PECVD是太陽能電池片生產(chǎn)過程中較常用的設(shè)備。PECVD技術(shù)原理是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜，起到減反射和鈍化的作用。PECVD —般都是板式的，即同一個載板上規(guī)則的排列5*11 (可能有其他的排列方式...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。