技術(shù)編號：3376642
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種形成真空蒸鍍膜的方法及其裝置，特別是涉及用于在大型的基板上形成有機(jī)EL顯示裝置有效的真空蒸鍍方法及其裝置。背景技術(shù)用于有機(jī)EL顯示裝置、照明裝置的有機(jī)EL元件為從上下用陰極和陰極一對電極夾入由有機(jī)材料構(gòu)成的有機(jī)層的構(gòu)造，成為以下的結(jié)構(gòu)，即，通過對電極施加電壓，從而從陽極側(cè)向有機(jī)層注入空穴，從陰極側(cè)向有機(jī)層注入電子，使它們再結(jié)合而發(fā)光。該有機(jī)層成為層疊了包含空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層、電子注入層的多層膜的結(jié)構(gòu)。作為形成該有機(jī)層的...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。