技術(shù)編號：3364203
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。,及其蒸發(fā)源容器的制作方法本發(fā)明涉及鍍膜裝置和蒸發(fā)源裝置，尤其是關(guān)于適合制造有機EL器件等的鍍膜 裝置、蒸發(fā)源裝置，及其蒸發(fā)源容器。背景技術(shù)作為制造有機EL器件用的主要的方法有真空蒸鍍法。利用這種真空蒸鍍法制造 有機EL器件時，尤其是、在玻璃板等被蒸鍍基板的表面形成以電極夾持的發(fā)光材料層(EL 層)的鍍膜裝置中，廣泛使用了在真空室內(nèi)，將配置在與該被蒸鍍基板相對的位置，使其位 置互相移動并進行加熱而氣化了的氣體狀(或蒸汽狀)的EL材料蒸鍍于基板表面的鍍膜直ο...
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