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無塵室中逆轉濺鍍涂覆系統(tǒng)進料的方法及裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:3360780

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本發(fā)明涉及逆轉濺鍍涂覆系統(tǒng)進料的裝置以及方法。 背景技術我們的每天必需品所附屬的大量科技裝置在生產(chǎn)期間需要濺鍍涂覆,我們可以在計算機硬盤、CD儲存媒體以及LCD平面屏幕、濺鍍軸承、現(xiàn)代熱保護玻璃、鏡子、商素發(fā)射器、或汽車頭燈中發(fā)現(xiàn)這些層,所有這些有用的事情皆無法在沒有利用濺鍍的涂覆的情形下實現(xiàn)。英文用辭濺鍍(“to sputter","sputtering")表示陰極濺鍍程序,在此情形下, 氬離子撞擊陰極(所謂的標靶),在此,會出現(xiàn)500伏特的典型電壓。當...
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