技術(shù)編號(hào)：3358812
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及溫控調(diào)試處理設(shè)備，更具體地涉及一種通過(guò)輸入或輸出 熱量來(lái)實(shí)現(xiàn)制熱或制冷用的真空熱處理腔。背景技術(shù)在半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)及機(jī)械工業(yè)領(lǐng)域，為了對(duì)所使用的元件賦予某種特性，較 常使用的方式是采用“蒸發(fā)鍍膜處理”在元件表面沉積一層薄膜，特別的是真空蒸發(fā)鍍膜技 術(shù)。真空蒸發(fā)鍍膜(又稱真空蒸鍍)是將固體材料置于真空室內(nèi)，在真空條件下，將固體材 料加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來(lái)的原子或分子能自由地彌布到容器的器壁上。當(dāng)把一些加工好的薄 型制品放在其中時(shí)，蒸發(fā)出來(lái)的原子...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。