技術(shù)編號：3351356
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子，特別是涉及一種用于等離子體處理 設(shè)備的基片載板。本發(fā)明還涉及一種包括上述基片載板的等離子體處 理設(shè)備。技術(shù)背景等離子體處理設(shè)備是微電子常用的基片處理設(shè)備。工作 時，首先將待處理的基片放置于基片載板頂部的凹槽中，然后通過傳 送輥等傳送裝置將上述基片載板依次傳送至等離子體處理設(shè)備的裝載 腔室、預(yù)熱腔室、反應(yīng)腔室以及卸載腔室中(當(dāng)然，等離子體處理設(shè) 備的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，不限于此)，進(jìn)而輸出上述等離子體處 理設(shè)備?？梢?，在整個工作過程中基...
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