技術(shù)編號：3351021
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，特別涉 及具有利用催化線(觸媒線)分解材料氣體而形成半導(dǎo)體膜的工序的 。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)中，已知具有利用催化線分解材料氣體而形成半導(dǎo)體膜 的工序的半導(dǎo)體膜的制造方法。這樣的半導(dǎo)體膜的制造方法例如公開在日本專利第3453214號公報中。上述專利第3453214號公報中，通過對催化體(催化線)供給電 力，在被加熱到材料氣體的熱分解溫度以上的催化體上導(dǎo)入硅烷 (SiH4)等硅化合物的氣體(材料氣體)和氫(H2)等其他物質(zhì)的氣 體的混合氣體，從而在硅化...
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