技術(shù)編號：3342330
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及材料的表面處理，具體地說是一種金屬摻雜無氫類金剛石薄膜的沉積制備方法。背景技術(shù)類金剛石薄膜(DLC)由于其極高的硬度、低的熱膨脹系數(shù)以及低的摩擦系數(shù)等優(yōu)良特性而備受青睞。但是高的內(nèi)應(yīng)力、相對較差的膜基結(jié)合力和熱穩(wěn)定性等嚴(yán)重限制了 DLC的廣泛引用。在材料表面沉積低摩擦系數(shù)、高結(jié)合強度的類金剛石薄膜一直是鍍膜領(lǐng)域所要達(dá)到的目的，但是這個過程一直受到內(nèi)應(yīng)力困擾，較高的內(nèi)應(yīng)力極易導(dǎo)致薄膜在使用過程中從基體剝落，甚至在制備過程中從基底表面剝落，限制了薄膜...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。