技術(shù)編號(hào)：3337172
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴(kuò)散泵水冷油鏡裝置，包括連接管、油鏡座、油鏡、第一密封圈和壓蓋，所述油鏡座的一端通過連接管與擴(kuò)散泵連接，所述油鏡座內(nèi)設(shè)有水冷槽，所述油鏡座的圓周壁設(shè)有進(jìn)水口和出水口，所述進(jìn)水口和出水口均與水冷槽連通；所述油鏡座的另一端設(shè)有油腔，所述油鏡通過壓蓋與油鏡座連接，且所述油鏡的一端通過第一密封圈與油腔密封連接，所述壓蓋設(shè)有觀察孔，所述觀察孔與油鏡相對(duì)設(shè)置。本實(shí)用新型通過水冷的方式對(duì)擴(kuò)散泵進(jìn)行散熱，故大大提高了散熱速度，散熱效...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。