一種磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置，包括連接管、油鏡座、油鏡、第一密封圈和壓蓋，所述油鏡座的一端通過連接管與擴散泵連接，所述油鏡座內(nèi)設有水冷槽，所述油鏡座的圓周壁設有進水口和出水口，所述進水口和出水口均與水冷槽連通；所述油鏡座的另一端設有油腔，所述油鏡通過壓蓋與油鏡座連接，且所述油鏡的一端通過第一密封圈與油腔密封連接，所述壓蓋設有觀察孔，所述觀察孔與油鏡相對設置。本實用新型通過水冷的方式對擴散泵進行散熱，故大大提高了散熱速度，散熱效果好，避免擴散泵因溫度過高而無法保持良好的抽氣狀態(tài)，同時也避免油鏡因溫度過而損壞。
【專利說明】 一種磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線設備，具體涉及一種磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置。

【背景技術】
[0002]擴散泵是磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線中不或或缺的部件。擴散泵工作時會產(chǎn)生大量的熱量。大量的熱量使擴散泵的泵體和泵油溫度的上升，從而造成擴散泵的工作效率變低。同時，為了方便觀察擴散泵的情況，常使用油鏡安裝于擴散泵。為了防止溫度影響擴散泵和油鏡的工作，目前的擴散泵常使用散熱片進行散熱。但采用上述方式會存在以下缺陷:1、散熱片的散熱效果差，散熱效率低，無法保證擴散泵具有良好的工作狀態(tài)；2、油鏡容易被刮花、破損，從而影響工作人員的觀察；3、因散熱效率低，擴散泵的泵體和泵溫度過高，這導致油鏡與擴散泵連接時使用的密封圈容易老化，故此密封圈需要頻繁更換。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的是為了克服以上現(xiàn)有技術存在的不足，提供了一種結構簡單、合理，散熱效果好且油鏡不易破損的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置。
[0004]本實用新型的目的通過以下的技術方案實現(xiàn):本磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置，包括連接管、油鏡座、油鏡、第一密封圈和壓蓋，所述油鏡座的一端通過連接管與擴散泵連接，所述油鏡座內(nèi)設有水冷槽，所述油鏡座的圓周壁設有進水口和出水口，所述進水口和出水口均與水冷槽連通；所述油鏡座的另一端設有油腔，所述油鏡的一端通過壓蓋與油鏡座連接，且所述油鏡通過第一密封圈與油腔密封連接，所述壓蓋設有觀察孔，所述觀察孔與油鏡相對設置。
[0005]優(yōu)選的，所述進水口和出水口相對于油鏡座的中心對稱設置。
[0006]優(yōu)選的，所述水冷槽呈環(huán)形。
[0007]優(yōu)選的，所述水冷槽的槽寬a的大小為6mm?12mm ;所述水冷槽的槽深b的大小為 8mm ?16mm η
[0008]優(yōu)選的，所述油鏡的另一端與壓蓋之間設有第二密封圈。
[0009]優(yōu)選的，所述觀察孔位于壓蓋中間。
[0010]本實用新型相對于現(xiàn)有技術具有如下的優(yōu)點:本磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置包含油鏡座、油鏡、第一密封圈和壓蓋等部件，且油鏡座內(nèi)設有水冷槽，這通過水冷的方式對擴散泵進行散熱，故大大提高了散熱速度，散熱效果好，避免擴散泵因溫度過高而無法保持良好的抽氣狀態(tài)，同時也避免油鏡因溫度過而損壞；本磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置座和壓蓋可對油鏡提供充足的防護，則油鏡不容易被刮花，也不容易破損，保證了工作人員可具有很好的視角觀察擴散泵；本磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置采用水冷散熱，散熱效率高，故密封圈不會因溫度過高而容易老化，從而不需要頻繁更換密封圈，方便維護；本磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置的結構簡單，方便安裝和維護。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本實用新型的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置的正視方向的剖視圖。
[0012]圖2是本實用新型的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置的俯視方向的剖視圖。
[0013]圖3是本實用新型的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置的左視圖。

【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。
[0015]如圖1至圖3所示的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置，包括連接管1、油鏡座2、油鏡3、第一密封圈4和壓蓋5，所述油鏡座2的一端通過連接管1與擴散泵連接，所述油鏡座2內(nèi)設有水冷槽6，所述油鏡座2的圓周壁設有進水口 7和出水口 8，所述進水口7和出水口 8均與水冷槽6連通；所述油鏡座2的另一端設有油腔9，所述油鏡3通過壓蓋5與油鏡座2連接，且所述油鏡3的一端通過第一密封圈4與油腔9密封連接，所述壓蓋5設有觀察孔10，所述觀察孔10與油鏡3相對設置。具體的，第一密封圈4采用丁腈橡膠制成，這是為了使第一密封圈4具有良好的密封效果，同時也延長第一密封圈4的使用壽命。而壓蓋5通過螺栓11與油鏡座2連接。
[0016]具體的，如圖1和圖2，進水口 7和出水口 8分別位于油鏡座2的前、后端，且進水口 7和出水口 8均與呈環(huán)形的水冷槽6連通。水冷槽6呈環(huán)形設置，這可保證水冷槽6可容納足量的冷卻水，從而進一步提高散熱效果。擴散泵工作時，冷卻水自進水口 7進入水冷槽6，然后水冷槽6的冷卻水再從出水口 8流出，以此同時，從出水口流出的冷卻水帶走擴散泵工作產(chǎn)生的熱量，從而起到良好的散熱效果。為了使油鏡座2的油腔9的泵油流動順暢，連接管1包含進油管101和出油管102，所述進油管101和出油管102與油腔9連通。
[0017]所述進水口 7和出水口 8相對于油鏡座2的中心對稱設置。采用此設計，這為了讓冷卻水可以油鏡座內(nèi)流動較長的距離，從而保證散熱效果。
[0018]所述水冷槽6的槽寬a的大小為9mm ;所述水冷槽6的槽深b的大小為12mm。水冷槽6的尺寸根據(jù)擴散泵的功率等實際情況而決定。為了水冷槽6具有良好的散熱效果，可控制冷卻水在水冷槽的流動速度。適當?shù)乃洳鄢叽缈蛇M一步保證水冷槽6的散熱效果，保證擴散泵具有良好的抽氣狀態(tài)。
[0019]所述油鏡3的另一端與壓蓋5之間設有第二密封圈12。采用此設計，這是為了進下保證密封效果，同時也進一步避免油鏡3發(fā)生破損。具體的，第二密封圈12使用硅橡膠制成，這不僅使第二密封圈具有良好的密封效果，同時，硅橡膠也具有良好的彈性，避免油鏡3因碰撞而發(fā)生損壞。
[0020]所述觀察孔10位于壓蓋5中間。采用此設計，這保證工作人員具有良好的視角，從而可清楚觀察擴散泵的工作情況。
[0021]上述【具體實施方式】為本實用新型的優(yōu)選實施例，并不能對本實用新型進行限定，其他的任何未背離本實用新型的技術方案而所做的改變或其它等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權利要求】
1.一種磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置，其特征在于:包括連接管、油鏡座、油鏡、第一密封圈和壓蓋，所述油鏡座的一端通過連接管與擴散泵連接，所述油鏡座內(nèi)設有水冷槽，所述油鏡座的圓周壁設有進水口和出水口，所述進水口和出水口均與水冷槽連通；所述油鏡座的另一端設有油腔，所述油鏡通過壓蓋與油鏡座連接，且所述油鏡的一端通過第一密封圈與油腔密封連接，所述壓蓋設有觀察孔，所述觀察孔與油鏡相對設置。
2.根據(jù)權利要求1所述的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置，其特征在于:所述進水口和出水口相對于油鏡座的中心對稱設置。
3.根據(jù)權利要求1所述的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置，其特征在于:所述水冷槽呈環(huán)形。
4.根據(jù)權利要求1所述的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置，其特征在于:所述水冷槽的槽寬a的大小為6mm?12mm ;所述水冷槽的槽深b的大小為8mm?16mm。
5.根據(jù)權利要求1所述的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置，其特征在于:所述油鏡的另一端與壓蓋之間設有第二密封圈。
6.根據(jù)權利要求1所述的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的擴散泵水冷油鏡裝置，其特征在于:所述觀察孔位于壓蓋中間。
【文檔編號】C23C14/35GK204185553SQ201420613951
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2014年10月22日 優(yōu)先權日:2014年10月22日
【發(fā)明者】蘇貴方 申請人:肇慶市大力真空設備有限公司