技術編號：3334703
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種用于磁控濺射工藝的立式掩膜夾具，包括掩膜部分、滑動阻擋部分和緊固部分。所述掩膜部分由兩片結構相同的掩膜板組成。所述的滑動阻擋部分由阻擋板、阻擋片、滑塊組成。兩片掩膜板中分別裝入待濺射陶瓷基體，滑動阻擋部分位于兩片掩膜板之間，夾具對位扣緊后由緊固部分緊固。夾具豎立后，滑塊沿阻擋片的傾斜滑道滑下，將阻擋片推向兩側，進而將阻擋片兩側的待濺射陶瓷基體頂緊在掩膜板上，可同時實現(xiàn)不同厚度陶瓷基體的密封，解決了磁控濺射工藝規(guī)模化生產(chǎn)中因陶瓷基體厚度差異導致的密封不嚴...
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