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多層連續(xù)式電漿輔助化學(xué)氣相沉積設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3328073

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本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多層連續(xù)式電漿輔助化學(xué)氣相沉積設(shè)備,包含有一腔體、至少一氣體源、一第一沉積組件及一第二沉積組件。該氣體源供應(yīng)一輸入該腔體內(nèi)的氣體,該第一沉積組件設(shè)置于該腔體內(nèi),包含一供承載一第一基板的第一載板以及相對(duì)設(shè)置于該第一載板的兩側(cè)并以該氣體產(chǎn)生一第一電漿的一第一電極組,該第二沉積組件與該第一沉積組件相鄰,并包含一供承載一第二基板的第二載板以及相對(duì)設(shè)置于該第二載板的兩側(cè)并以該氣體產(chǎn)生一第二電漿的一第二電極組。據(jù)此,本實(shí)用新型可有效利用該腔體的空間...
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