技術(shù)編號：3326966
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及真空多弧離子鍍膜機(jī)，具體是一種真空多弧離子鍍膜機(jī)的脈沖磁場電弧蒸發(fā)源。包括引弧機(jī)構(gòu)、靶塊、水冷靶座、磁性元件，所述磁性元件包括電磁線圈和磁軛，電磁線圈由脈沖電源供電，產(chǎn)生脈沖磁場，磁性元件設(shè)置有電磁屏蔽套，磁性元件與水冷靶座之間設(shè)置有冷卻水套。本實用新型利用脈沖電源供電，電磁線圈和磁軛產(chǎn)生電磁場，其電磁場可通過自動控制電流實現(xiàn)定量調(diào)節(jié)，所有蒸發(fā)源的磁場很容易達(dá)到一致；電磁屏蔽防止電磁輻射對外圍電器和傳感元件的干擾；電磁線圈采用間接水冷防止過熱...
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