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一種高純鋁硅靶材的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3325873

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本發(fā)明公開(kāi)了,它包括步驟1的固溶處理,將高純鋁硅材料在520-550℃下保溫2-6小時(shí)后,取出后水淬;步驟2的軋制,經(jīng)過(guò)固溶處理的高純鋁硅材料在軋機(jī)上冷軋,厚度變形量為75-90%,軋制過(guò)程中用水冷卻;步驟3的再結(jié)晶退火,經(jīng)軋制后的高純鋁硅材料在溫度350-450℃下保溫1-10小時(shí)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的技術(shù)效果是所得的高純鋁硅濺射靶材的晶粒尺寸控制在60um以?xún)?nèi),晶粒取向?yàn)殡S機(jī)織構(gòu),該濺射靶材的晶粒尺寸和織構(gòu)分布完全能滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)需求,加工簡(jiǎn)單,加工...
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