技術(shù)編號(hào):3325404
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。,是由墻體、長(zhǎng)加熱模塊、長(zhǎng)加熱模塊正極、長(zhǎng)加熱模塊負(fù)極、短加熱模塊、短加熱模塊正極、短加熱模塊負(fù)極、矩形加熱模塊、正負(fù)極輸入輸出孔、定位器構(gòu)成;加熱的結(jié)構(gòu)及其方法簡(jiǎn)單,設(shè)計(jì)科學(xué)合理,使用方便、操作容易快捷;確保在大型連續(xù)性生產(chǎn)氧化銦錫膜中,通過(guò)控制對(duì)磁控濺射磁懸浮車靶的各部位的加熱溫度,使ITO薄膜得到整版均勻性良好的電阻,明顯提高ITO薄膜的產(chǎn)品質(zhì)量,大大提高工作效率,節(jié)約生產(chǎn)成本,延長(zhǎng)使用壽命2倍以上,節(jié)能環(huán)保。專利說(shuō)明 [0001]本發(fā)明涉及1...
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