技術(shù)編號：3325400
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種制備納米多孔金屬薄膜的方法，通過磁控濺射工藝制備。本發(fā)明的方法制作工藝簡單，并可以常溫下制備出納米多孔金屬薄膜；所制備的多孔金屬薄膜具有超薄、比表面積大、活性高、膜層均勻、易于微器件集成等特點，可以應(yīng)用于催化、新能源領(lǐng)域，并可以直接作為超級電容器材料制備微型電容電極。專利說明 [0001]本發(fā)明屬于催化和新能源領(lǐng)域領(lǐng)域，特別涉及一種磁控濺射工藝制備納米多孔金屬薄膜的方法。 背景技術(shù) [0002]納米多孔(Nanoporous)金屬材料是一類具...
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