技術(shù)編號：3325197
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種監(jiān)控裝置以及磁控濺射設(shè)備，通過在監(jiān)控裝置中設(shè)置用于產(chǎn)生提醒信號的提醒器件用于當(dāng)磁控濺射設(shè)備內(nèi)的水冷板發(fā)送位移時(shí)，觸發(fā)所述提醒器件產(chǎn)生提醒信號的觸發(fā)器件。從而可以及時(shí)、準(zhǔn)確的監(jiān)控磁控濺射設(shè)備腔室內(nèi)水冷板的位移程度，預(yù)防異常成膜的產(chǎn)生，確保顯示基板以及顯示裝置的良品率。該監(jiān)控裝置具體結(jié)構(gòu)簡單、性能穩(wěn)定的特點(diǎn)。專利說明一種監(jiān)控裝置以及磁控濺射設(shè)備 [0001]本發(fā)明涉及顯示，具體可以涉及一種監(jiān)控裝置，以及設(shè)置有該監(jiān)控裝置且用于制作顯示基板的磁...
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