一種監(jiān)控裝置以及磁控濺射設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種監(jiān)控裝置以及磁控濺射設(shè)備，通過(guò)在監(jiān)控裝置中設(shè)置用于產(chǎn)生提醒信號(hào)的提醒器件：用于當(dāng)磁控濺射設(shè)備內(nèi)的水冷板發(fā)送位移時(shí)，觸發(fā)所述提醒器件產(chǎn)生提醒信號(hào)的觸發(fā)器件。從而可以及時(shí)、準(zhǔn)確的監(jiān)控磁控濺射設(shè)備腔室內(nèi)水冷板的位移程度，預(yù)防異常成膜的產(chǎn)生，確保顯示基板以及顯示裝置的良品率。該監(jiān)控裝置具體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定的特點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】一種監(jiān)控裝置以及磁控濺射設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，具體可以涉及一種監(jiān)控裝置，以及設(shè)置有該監(jiān)控裝置且用于制作顯示基板的磁控濺射設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]在顯示基板制作過(guò)程中，需要利用磁控濺射(Sputter)等工藝在顯示基板中形成相應(yīng)的膜層，例如柵金屬層或源漏金屬層，而在磁控濺射工藝過(guò)程中，時(shí)常會(huì)有基板押元溶射導(dǎo)致玻璃基板(Glass)存在異常成膜(Splash)現(xiàn)象。而基板押元溶射現(xiàn)象通常是由于磁控派射設(shè)備中的浮動(dòng)掩模板(Floating Mask)與基板押元的距離過(guò)小所引起。
[0003]磁控濺射設(shè)備中的浮動(dòng)掩模板(Floating Mask)是安裝在水冷板上面的，水冷板通過(guò)螺紋連接固定在機(jī)臺(tái)上。而在生產(chǎn)(Process)&設(shè)備維護(hù)(PM)作業(yè)時(shí)，會(huì)有熱脹冷縮及震動(dòng)現(xiàn)象，從而使螺紋連接會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)導(dǎo)致水冷板下移，最終出現(xiàn)浮動(dòng)掩模板(FloatingMask)與基板押元之間的距離過(guò)小產(chǎn)生基板押元溶射及玻璃基板異常成膜(Splash)。
[0004]而且，磁控濺射工序是在密閉的腔室(Chamber)內(nèi)實(shí)現(xiàn)的，且磁控濺射設(shè)備中存在多個(gè)腔室，這導(dǎo)致無(wú)法及時(shí)準(zhǔn)確發(fā)現(xiàn)水冷板下移情況，從而影響了顯示基本的良品率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種監(jiān)控裝置以及磁控濺射設(shè)備，可以及時(shí)、準(zhǔn)確的監(jiān)控磁控濺射設(shè)備腔室內(nèi)水冷板的位移程度，預(yù)防異常成膜的產(chǎn)生，確保顯示基板以及顯示裝置的良品率。
[0006]本發(fā)明提供方案如下:
[0007]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種監(jiān)控裝置，所述監(jiān)控裝置設(shè)置于用于制作顯示基板的磁控濺射設(shè)備中，所述裝置包括:
[0008]用于產(chǎn)生提醒信號(hào)的提醒器件:
[0009]用于當(dāng)磁控濺射設(shè)備內(nèi)的水冷板發(fā)送位移時(shí)，觸發(fā)所述提醒器件產(chǎn)生提醒信號(hào)的觸發(fā)器件。
[0010]優(yōu)選的，所述提醒器件為在所述水冷板未發(fā)送位移時(shí)處于開(kāi)路的提醒電路；
[0011]所述觸發(fā)器件能夠在所述水冷板發(fā)生位移時(shí)，在所述水冷板的作用下移動(dòng)已導(dǎo)通所述提醒電路，使所述提醒電路產(chǎn)生提醒信號(hào)。
[0012]優(yōu)選的，所述提醒電路包括第一觸點(diǎn)、第二觸點(diǎn)、電源以及信號(hào)燈；
[0013]所述第一觸點(diǎn)和第二觸點(diǎn)之間在所述水冷板未發(fā)生位移時(shí)處于開(kāi)路狀態(tài)，當(dāng)所述觸發(fā)器件在所述水冷板的作用下移動(dòng)時(shí)，所述觸發(fā)器件能夠使所述第一觸點(diǎn)和第二觸點(diǎn)之間形成電通路，以使信號(hào)燈在所述電源的作用下發(fā)光。
[0014]優(yōu)選的，所述觸發(fā)器件包括:
[0015]當(dāng)所述水冷板發(fā)生位移時(shí)，與所述水冷板接觸的接觸器件；
[0016]與所述接觸器件連接的支撐器件，所述支撐器件的第一端，與所述接觸器件遠(yuǎn)離所述水冷板的一側(cè)連接；
[0017]用于實(shí)現(xiàn)提醒電路導(dǎo)通的金屬觸片，所述金屬觸片與所述支撐器件的第二端連接。
[0018]優(yōu)選的，所述接觸器件和所述支撐器件為絕緣材質(zhì)。
[0019]優(yōu)選的，所述支撐器件的第二端貫穿所述磁控濺射設(shè)備內(nèi)，容納所述水冷板的腔室的側(cè)壁；
[0020]所述接觸器件設(shè)置于所述腔室之內(nèi)；
[0021 ] 所述金屬觸片設(shè)置于所述腔室之外。
[0022]優(yōu)選的，所述觸發(fā)器件還包括一用于實(shí)現(xiàn)觸發(fā)器件復(fù)位的彈簧；
[0023]所述彈簧圍繞所述支撐器件設(shè)置；
[0024]所述彈簧的一端抵觸于所述接觸器件與支撐器件連接的側(cè)面，所述彈簧的另一端抵觸于所述腔室內(nèi)側(cè)壁上。
[0025]優(yōu)選的，所述接觸器件、支撐器件和彈簧表面涂覆有樹(shù)脂涂層。
[0026]優(yōu)選的，所述彈簧為高碳鋼材質(zhì)。
[0027]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種磁控濺射設(shè)備，該磁控濺射設(shè)備具體可以包括上述本發(fā)明實(shí)施例提供的監(jiān)控裝置。
[0028]從以上所述可以看出，本發(fā)明提供的一種監(jiān)控裝置以及磁控濺射設(shè)備，通過(guò)在監(jiān)控裝置中設(shè)置用于產(chǎn)生提醒信號(hào)的提醒器件:用于當(dāng)磁控濺射設(shè)備內(nèi)的水冷板發(fā)送位移時(shí)，觸發(fā)所述提醒器件產(chǎn)生提醒信號(hào)的觸發(fā)器件。從而可以及時(shí)、準(zhǔn)確的監(jiān)控磁控濺射設(shè)備腔室內(nèi)水冷板的位移程度，預(yù)防異常成膜的產(chǎn)生，確保顯示基板以及顯示裝置的良品率。該監(jiān)控裝置具體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定的特點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0029]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的監(jiān)控設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖一；
[0030]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的監(jiān)控設(shè)備放置位置示意圖；
[0031]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的監(jiān)控設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖二；
[0032]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的監(jiān)控設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖三。

【具體實(shí)施方式】
[0033]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；谒枋龅谋景l(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0034]除非另作定義，此處使用的技術(shù)術(shù)語(yǔ)或者科學(xué)術(shù)語(yǔ)應(yīng)當(dāng)為本發(fā)明所屬領(lǐng)域內(nèi)具有一般技能的人士所理解的通常意義。本發(fā)明專利申請(qǐng)說(shuō)明書以及權(quán)利要求書中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語(yǔ)并不表示任何順序、數(shù)量或者重要性，而只是用來(lái)區(qū)分不同的組成部分。同樣，“一個(gè)”或者“一”等類似詞語(yǔ)也不表示數(shù)量限制，而是表示存在至少一個(gè)?！斑B接”或者“相連”等類似的詞語(yǔ)并非限定于物理的或者機(jī)械的連接，而是可以包括電性的連接，不管是直接的還是間接的?！吧稀薄ⅰ跋隆?、“左”、“右”等僅用于表示相對(duì)位置關(guān)系，當(dāng)被描述對(duì)象的絕對(duì)位置改變后，則該相對(duì)位置關(guān)系也相應(yīng)地改變。
[0035]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種監(jiān)控裝置，該監(jiān)控裝置具體可設(shè)置于用于制作顯示基板的磁控濺射設(shè)備中，如圖1所示，該監(jiān)控裝置具體可以包括:
[0036]用于產(chǎn)生提醒信號(hào)的提醒器件1:
[0037]用于當(dāng)磁控濺射設(shè)備內(nèi)的水冷板3發(fā)送位移時(shí)，觸發(fā)提醒器件I產(chǎn)生提醒信號(hào)的觸發(fā)器件2。
[0038]本發(fā)明實(shí)施例所提供的監(jiān)控裝置，可以及時(shí)、準(zhǔn)確的監(jiān)控磁控濺射設(shè)備腔室內(nèi)水冷板3的位移程度，預(yù)防異常成膜的產(chǎn)生，確保顯示基板以及顯示裝置的良品率。
[0039]如圖2所示，在具體實(shí)現(xiàn)時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例所涉及的觸發(fā)器件2具體可設(shè)置于水冷板3的下方，與水冷板直接接觸或距水冷板一預(yù)設(shè)距離，這樣，當(dāng)水冷板因熱脹冷縮及震動(dòng)現(xiàn)象等原因而發(fā)生位移時(shí)，觸發(fā)器件2與水冷板3發(fā)生接觸并在水冷板3的作用下，可觸發(fā)提醒器件I產(chǎn)生提醒信號(hào)，以提示水冷板3發(fā)生移位，從而可將水冷板3的位移轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，確保及時(shí)、準(zhǔn)確發(fā)生水冷板是否發(fā)生位移。
[0040]在具體實(shí)施例中，本發(fā)明實(shí)施例所涉及的提醒器件I具體可為在水冷板3未發(fā)送位移時(shí)處于開(kāi)路的提醒電路。
[0041]那么，本發(fā)明實(shí)施例所涉及的觸發(fā)器件2能夠在水冷板3發(fā)生位移時(shí)，在水冷板3的作用下移動(dòng)已導(dǎo)通所述提醒電路，使所述提醒電路產(chǎn)生提醒信號(hào)。
[0042]在一具體實(shí)施例中，如圖3所示，該提醒電路具體可由第一觸點(diǎn)11、第二觸點(diǎn)12、電源13以及信號(hào)燈14構(gòu)成。
[0043]如圖3所示，第一觸點(diǎn)11和第二觸點(diǎn)12之間在水冷板3未發(fā)生位移時(shí)可處于開(kāi)路狀態(tài)，當(dāng)觸發(fā)器件2在水冷板3的作用下移動(dòng)時(shí)，觸發(fā)器件2能夠使第一觸點(diǎn)11和第二觸點(diǎn)12之間形成電通路，以使提醒電路形成閉合回路，使信號(hào)燈14在電源13的作用下發(fā)光，以起到提醒的作用。
[0044]在一具體實(shí)施例中，如圖3所示，觸發(fā)器件2具體可以包括:
[0045]當(dāng)水冷板3發(fā)生位移時(shí)，與水冷板3接觸的接觸器件21 ；
[0046]與接觸器件21連接的支撐器件22，該支撐器件22的第一端，與接觸器件21遠(yuǎn)離水冷板3的一側(cè)連接；
[0047]用于實(shí)現(xiàn)提醒電路導(dǎo)通的金屬觸片23，該金屬觸片23與支撐器件22的第二端連接。
[0048]在圖3所示實(shí)施例中，當(dāng)水冷板3發(fā)生位移例如向下移動(dòng)時(shí)，水冷板3與接觸器件21發(fā)生接觸，接觸器件21在水冷板3的作用下也會(huì)向下移動(dòng)，從而帶動(dòng)支撐器件22以及金屬觸片23產(chǎn)生聯(lián)動(dòng)，使觸發(fā)器件2整體下移。當(dāng)金屬觸片23下移至與提醒器件I中的第一觸點(diǎn)11和第二觸點(diǎn)12發(fā)生接觸時(shí)，使第一觸點(diǎn)11和第二觸點(diǎn)12之間形成電通路，從而使提醒器件I各器件之間形成閉合回路，那么在電源13的作用下，信號(hào)燈14發(fā)光，以提醒水冷板3發(fā)生位移，從而可以及時(shí)、準(zhǔn)確的監(jiān)控磁控濺射設(shè)備腔室內(nèi)水冷板3的位移程度，預(yù)防異常成膜的產(chǎn)生，確保顯示基板以及顯示裝置的良品率。
[0049]為了避免發(fā)生漏電致使提醒器件I無(wú)法形成電回路，本發(fā)明實(shí)施例所涉及的接觸器件21和支撐器件22具體可為絕緣材質(zhì)，從而避免漏電情況的發(fā)生，確保監(jiān)控制作的可靠運(yùn)行。
[0050]由于水冷板3通常設(shè)置于磁控濺射設(shè)備的腔室內(nèi)，那么本發(fā)明實(shí)施例中與水冷板3接觸的接觸器件21具體也可以設(shè)置于腔室之內(nèi)，以便接觸器件21在水冷板3發(fā)生位移與之接觸。
[0051]而為了能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)水冷板3發(fā)生位移情況，起到提醒的作用，通常是將提醒器件I設(shè)置觸控濺射設(shè)備的腔室之外，那么，上述本發(fā)明實(shí)施例中用于觸發(fā)提醒器件I的金屬觸片23具體可設(shè)置于腔室之外，從而實(shí)現(xiàn)與提醒器件I中的第一觸點(diǎn)11和第二觸點(diǎn)12發(fā)生接觸。
[0052]為了使磁控濺射設(shè)備腔室之內(nèi)的接觸器件21與腔室之外的金屬觸片23產(chǎn)生聯(lián)動(dòng)，如圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例所涉及的支撐器件22具體可貫穿磁控濺射設(shè)備內(nèi)容納水冷板3的腔室的側(cè)壁4。
[0053]在本發(fā)明一具體實(shí)施例中，為了實(shí)現(xiàn)對(duì)觸發(fā)器件2的支撐和復(fù)位，如圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例所涉及的觸發(fā)器件2內(nèi)具體還可設(shè)置有彈簧24。
[0054]如圖4所示，該彈簧24具體圍繞支撐器件22設(shè)置。
[0055]該彈簧23的一端抵觸于接觸器件21與支撐器件22連接的側(cè)面，該彈簧24的另一端抵觸于腔室內(nèi)側(cè)壁4上，這樣，當(dāng)接觸器件21、支撐器件22以及金屬觸片23整體在水冷板3的作用發(fā)送移動(dòng)時(shí)，該彈簧23可起到支撐的作用，當(dāng)水冷板3復(fù)位后，在彈簧24的作用下，觸器件21、支撐器件22以及金屬觸片23也可實(shí)現(xiàn)復(fù)位，以便下一次的水冷板3位移監(jiān)控。
[0056]在一具體實(shí)施例中，本發(fā)明所涉及的彈簧24具體可為高碳鋼材質(zhì)，從而使彈簧24具有彈性大、強(qiáng)度高的特定。
[0057]根據(jù)磁控派射(Sputter)的工藝特性,磁控派射設(shè)備的腔室(Chamber)內(nèi)部的機(jī)構(gòu)裝置一般要求具有耐高溫、絕緣的特點(diǎn)。因此，本發(fā)明實(shí)施例中，可在觸發(fā)器件2中個(gè)器件(包括接觸器件21、支撐器件22和彈簧24)的表面涂覆至少一層的樹(shù)脂涂層材料，該樹(shù)脂涂層材料具有耐高溫、抗氧化及絕緣性好的特點(diǎn)，從而使觸發(fā)器件2中的各器件滿足腔室內(nèi)的工作條件，確保觸發(fā)器件2的可靠運(yùn)行。
[0058]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種磁控濺射設(shè)備，該磁控濺射設(shè)備可用于制作顯示基板。該磁控濺射設(shè)備內(nèi)具體可以設(shè)置有上述本發(fā)明實(shí)施例提供的監(jiān)控裝置，從而可確保及時(shí)、準(zhǔn)確的監(jiān)控水冷板3的位移，提高顯示基板以及顯示制作的良品率。
[0059]從以上所述可以看出，本發(fā)明提供的一種監(jiān)控裝置以及磁控濺射設(shè)備，通過(guò)在監(jiān)控裝置中設(shè)置用于產(chǎn)生提醒信號(hào)的提醒器件:用于當(dāng)磁控濺射設(shè)備內(nèi)的水冷板發(fā)送位移時(shí)，觸發(fā)所述提醒器件產(chǎn)生提醒信號(hào)的觸發(fā)器件。從而將水冷板的位移轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，確保及時(shí)、準(zhǔn)確的監(jiān)控磁控濺射設(shè)備腔室內(nèi)水冷板的位移程度，預(yù)防異常成膜的產(chǎn)生，確保顯示基板以及顯示裝置的良品率。而且，該監(jiān)控裝置具體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定的特點(diǎn)。
[0060]以上所述僅是本發(fā)明的實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種監(jiān)控裝置，所述監(jiān)控裝置設(shè)置于用于制作顯示基板的磁控濺射設(shè)備中，其特征在于，所述裝置包括: 用于產(chǎn)生提醒信號(hào)的提醒器件: 用于當(dāng)磁控濺射設(shè)備內(nèi)的水冷板發(fā)送位移時(shí)，觸發(fā)所述提醒器件產(chǎn)生提醒信號(hào)的觸發(fā)器件。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述提醒器件為在所述水冷板未發(fā)送位移時(shí)處于開(kāi)路的提醒電路； 所述觸發(fā)器件能夠在所述水冷板發(fā)生位移時(shí)，在所述水冷板的作用下移動(dòng)已導(dǎo)通所述提醒電路，使所述提醒電路產(chǎn)生提醒信號(hào)。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述提醒電路包括第一觸點(diǎn)、第二觸點(diǎn)、電源以及信號(hào)燈； 所述第一觸點(diǎn)和第二觸點(diǎn)之間在所述水冷板未發(fā)生位移時(shí)處于開(kāi)路狀態(tài)，當(dāng)所述觸發(fā)器件在所述水冷板的作用下移動(dòng)時(shí)，所述觸發(fā)器件能夠使所述第一觸點(diǎn)和第二觸點(diǎn)之間形成電通路，以使信號(hào)燈在所述電源的作用下發(fā)光。
4.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述觸發(fā)器件包括: 當(dāng)所述水冷板發(fā)生位移時(shí)，與所述水冷板接觸的接觸器件； 與所述接觸器件連接的支撐器件，所述支撐器件的第一端，與所述接觸器件遠(yuǎn)離所述水冷板的一側(cè)連接； 用于實(shí)現(xiàn)提醒電路導(dǎo)通的金屬觸片，所述金屬觸片與所述支撐器件的第二端連接。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述接觸器件和所述支撐器件為絕緣材質(zhì)。
6.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述支撐器件的第二端貫穿所述磁控濺射設(shè)備內(nèi)，容納所述水冷板的腔室的側(cè)壁； 所述接觸器件設(shè)置于所述腔室之內(nèi)； 所述金屬觸片設(shè)置于所述腔室之外。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述觸發(fā)器件還包括一用于實(shí)現(xiàn)觸發(fā)器件復(fù)位的彈簧； 所述彈簧圍繞所述支撐器件設(shè)置； 所述彈簧的一端抵觸于所述接觸器件與支撐器件連接的側(cè)面，所述彈簧的另一端抵觸于所述腔室內(nèi)側(cè)壁上。
8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述接觸器件、支撐器件和彈簧表面涂覆有樹(shù)脂涂層。
9.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述彈簧為高碳鋼材質(zhì)。
10.一種磁控濺射設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的裝置。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK104388907SQ201410724890
【公開(kāi)日】2015年3月4日 申請(qǐng)日期:2014年12月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月3日
【發(fā)明者】陶鋒, 付艷強(qiáng), 車奉周, 贠向南, 金相起 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司