技術(shù)編號:3323886
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種平面磁控濺射靶,由法蘭、壓套、通水筒、勵磁線圈、電工純鐵套筒、絕緣套筒、水嘴、壓板、緊定螺釘、電工純鐵壓桿、密封圈、墊圈、絕緣套、壓環(huán)、螺栓、絕緣隔套、屏蔽罩、開槽沉頭螺釘、壓緊圈、釹鐵硼永久磁鐵柱、定位支架部件組成。該平面磁控濺射靶在屏蔽罩設(shè)計,勵磁線圈、電工純鐵套筒和永久磁鐵的結(jié)構(gòu)布置,磁控濺射靶的磁場可調(diào)以及冷卻結(jié)構(gòu)設(shè)計等方面具有獨到之處,解決了磁控濺射靶經(jīng)常遇到的尖端放電、對磁性材料濺射率低以及冷卻結(jié)構(gòu)復(fù)雜等常見缺點,提高了靶材利用...
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