技術(shù)編號(hào)：3323773
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種坩堝用加熱裝置、坩堝和蒸發(fā)源，該坩堝用加熱裝置包括用于容納所述坩堝的容納腔，以及設(shè)置于所述容納腔內(nèi)的中部加熱器，用于為位于所述坩堝中部的蒸鍍材料進(jìn)行加熱。本發(fā)明中，可以通過加熱裝置的位于坩堝外圍的側(cè)面加熱器對(duì)位于坩堝周邊的蒸鍍材料進(jìn)行加熱，并通過加熱裝置的中部加熱器對(duì)位于坩堝中部的蒸鍍材料進(jìn)行加熱，從而避免了坩堝中間材料和周邊材料受熱不均的現(xiàn)象，提高了蒸鍍溫度的均一性，從而可以提高蒸鍍材料的純度和蒸鍍所得膜層的性能。專利說明一種坩堝用加熱裝置...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。