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一種厚度可控納米多孔金屬薄膜的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3322791

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本發(fā)明涉及一種激光脈沖沉積制備納米多孔金屬薄膜的方法,首先根據(jù)所需比例制作鏤空的A金屬片,A金屬片與B金屬片復(fù)合作為靶材;然后在襯底上用脈沖激光沉積方法以靶材為原料沉積一層合金薄膜,真空腔內(nèi)真空度10-5-105Pa,薄膜沉積時(shí)襯底溫度為50-1100攝氏度,激光頻率為1-10Hz,激光能量為50-300mj,根據(jù)脈沖激光次數(shù)和激光能量密度調(diào)節(jié)合金薄膜厚度。將合金薄膜放入退火爐中在80-1000攝氏度下退火0.5-6小時(shí)。將退火處理的合金薄膜放入濃度1-1...
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