技術(shù)編號(hào)：3321453
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種硅烷環(huán)防塞多孔噴頭，該硅烷環(huán)防塞的多孔噴頭包括噴頭盤本體，所述噴頭盤本體與硅烷環(huán)的出氣口密封配合，所述噴頭盤本體上設(shè)置有至少一個(gè)小于硅烷環(huán)的出氣口口徑的氣流出孔。該硅烷環(huán)防塞多孔噴頭安裝后能減少吸附在硅烷環(huán)內(nèi)壁上氮化硅，這樣就有效地延長(zhǎng)了硅烷環(huán)內(nèi)氮化硅沉積時(shí)間，減少了堵塞概率。本發(fā)明還公開了一種多段可拆卸噴頭式硅烷環(huán)，在其第一出氣支路管道的第一出氣口、所述第二出氣支路管道的第二出氣口處均設(shè)置有本發(fā)明所述的硅烷環(huán)防塞的多孔噴頭，以延長(zhǎng)硅烷環(huán)的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。