技術(shù)編號(hào):3319433
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制造用于液晶顯示器的陣列基板的方法,所述方法包括a)在基板上形成柵極布線;b)在具有所述柵極布線的基板上形成柵極絕緣層;c)在所述柵極絕緣層上形成半導(dǎo)體層;d)在所述半導(dǎo)體層上形成源電極和漏電極;以及e)形成與所述漏電極連接的像素電極,其中,a)步驟或d)步驟包括在所述基板或所述半導(dǎo)體層上形成Cu基金屬膜,以及利用蝕刻劑組合物通過(guò)蝕刻所述Cu基金屬膜來(lái)形成所述柵極布線或所述源電極和所述漏電極,以及所述蝕刻劑組合物為用于Cu基金屬膜的蝕刻劑組合...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。