技術(shù)編號：3318407
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，具體是用高功率脈沖磁控濺射技術(shù)在鋼鐵表面制備具有高結(jié)合力、高硬度、低摩擦系數(shù)、良好的耐腐蝕性的類金剛石薄膜。背景技術(shù)類金剛石薄膜具有高硬度、低摩擦系數(shù)、良好的耐腐蝕性，被廣泛應(yīng)用于航空航天、輪船、公路運(yùn)輸工具、刀具、醫(yī)療器械等方面。但是，由于存在熱匹配、結(jié)構(gòu)匹配的差異和苛刻的工況環(huán)境等因素，容易導(dǎo)致破損和脫落。因此，制備高結(jié)合力類金剛石薄膜，是提高類金剛石薄膜應(yīng)用過程中的可靠性和拓展其應(yīng)用范圍的關(guān)鍵因素之。通常都通過濺射、電弧等技術(shù)在表面設(shè)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。