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一種在鐵基材料表面沉積鐵+鉻+鉬+鈦+氮化鈦的混合多層納米強化層的工藝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3317191

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本發(fā)明公開了一種在鐵基材料表面沉積鐵+鉻+鉬+鈦+氮化鈦的混合多層納米強化層的工藝,是利用磁控濺射技術(shù),在鐵基材料表面依次沉積納米級厚度的混合過渡層,混合層鐵和鉻、鉻和鉬、鉬和鈦之間沒有明顯的分界線,為混合逐步形成的過渡層,最后再復(fù)合沉積納米級的氮化鈦強化層,形成結(jié)合力良好的復(fù)合強化層。本發(fā)明采用磁控濺射在鐵基材料表面沉積鐵+鉻+鉬+鈦+氮化鈦的多層納米強化層,形成的過渡層成分梯度分布平緩,殘余內(nèi)應(yīng)力較小,大大增加了膜基結(jié)合強度,增強了與基體的結(jié)合力,其硬...
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