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一種新型ZnO基熱電薄膜及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3314817

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本發(fā)明公開(kāi)了。所述新型ZnO基熱電薄膜為Al和Ti共摻雜的ZnO熱電薄膜,其化學(xué)式表示為Zn1-x-yAlxTiyO(0.005≤x≤0.04,0.005≤y≤0.04)。本發(fā)明通過(guò)在Al摻雜ZnO熱電薄膜的基礎(chǔ)上引入Ti作為第二種摻雜元素。Al和Ti共摻雜后ZnO熱電薄膜的電導(dǎo)率顯著提高,另外由于Ti的引入ZnO熱電薄膜的有效態(tài)密度提高,因而其高溫塞貝克系數(shù)也同時(shí)得到提高。本發(fā)明解決了熱電薄膜的電導(dǎo)率和塞貝克系數(shù)不能同時(shí)提高的問(wèn)題,新型的Zn1-x-yA...
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