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一種高沉積速率制備鋰離子固體電解質(zhì)薄膜的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3311876

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本發(fā)明涉及一種沉積速率高的制備鋰離子固體電解質(zhì)薄膜的方法,具體為一種制備氮化Li3PO4(簡(jiǎn)稱(chēng)鋰磷氧氮)薄膜的方法。所制備的薄膜能應(yīng)用于全固態(tài)薄膜鋰離子電池。鋰磷氧氮薄膜的制備方法已有不少報(bào)道,一般通過(guò)射頻磁控濺射Li3PO4靶,在N2或He+N2環(huán)境下通過(guò)反應(yīng)性沉積鋰磷氧氮薄膜。另外,也有人采用熱蒸發(fā)與離子束輔助(IBDA)結(jié)合的技術(shù)制備鋰磷氧氮薄膜。但沉積效率差(沉積速率低與沉積面積小),難以實(shí)際應(yīng)用。我們也曾公開(kāi)報(bào)道了在氮?dú)夥障?,脈沖激光沉積法制備鋰...
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