技術(shù)編號：3310916
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，包括第一間歇性充氣組件、第二間歇性充氣組件、進(jìn)片室、進(jìn)片過渡室、進(jìn)片緩沖室、濺射室、出片緩沖室、出片過渡室和出片室；進(jìn)片過渡室和進(jìn)片緩沖室之間設(shè)置第一門閥，出片過渡室和出片緩沖室之間設(shè)置第二門閥；第一間歇性充氣組件包括第一間歇性開關(guān)、第一間歇性開關(guān)電磁閥和第一延時器，第一間歇性開關(guān)設(shè)于進(jìn)片過渡室上；第二間歇性充氣組件包括第二間歇性開關(guān)、第二間歇性開關(guān)電磁閥和第二延時器，第二間歇性開關(guān)設(shè)于出片過渡室上；第一間歇性開關(guān)電磁閥與第一門閥并聯(lián)...
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