技術(shù)編號：3310575
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種帶軌道的圓錐拋光裝置，適用于光學(xué)元件、非晶薄膜襯底等工件表面的研磨與拋光加工，它包括研磨盤，軌道，支撐架，研磨盤為立體圓錐形研磨盤，研磨盤表面的磨料粒度隨著圓錐形斜面變化，越靠近圓錐頂端磨料粒度越高；軌道為工字型軌道，軌道為錐螺旋形軌道述軌道上每一點距離研磨盤的垂直距離均相等；研磨盤固定在底座上；工件移動機構(gòu)的一端連接在軌道上，另一端與研磨盤貼合。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單緊湊，成本較低，自動化程度高，通過圓錐形研磨盤的磨料粒度梯度化設(shè)計，可以對工件分別...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。