技術(shù)編號：3308698
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種在真空槽內(nèi)，一邊運(yùn)送薄膜一邊以高的成膜速度在薄膜上形成均勻的膜厚的有機(jī)化合物膜的技術(shù)。在真空槽（2）內(nèi)，將從原料卷材（41）上送出的薄膜（10）與中央滾筒（3）相接觸地運(yùn)送，在薄膜（10）上形成有機(jī)化合物膜。具有蒸汽排放裝置（8）和能量線射出裝置（9），所述蒸汽排放裝置（8）配置在設(shè)在真空槽（2）內(nèi)的成膜室（6）內(nèi)，具有排放有機(jī)化合物單體的蒸汽并向中央滾筒（3）上的薄膜（10）吹噴的蒸汽排放部（82），所述能量線射出裝置（9）相對于形成在中央...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。