技術編號：3308328
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種。所述裝置具有至少一個處理腔(1)；細長的第一存儲腔(2)和細長的第二存儲腔(3)，存儲腔沒有閉鎖裝置地與處理腔(1)連接；細長的第一傳送腔(4)，第一傳送腔與第一存儲腔(2)連接；細長的第二傳送腔(5)，第二傳送腔與第二存儲腔(3)連接；在第一傳送腔和第二傳送腔(4、5)的兩個端部上的閉鎖裝置(9、10、11、12)；至少一個泵系統(tǒng)(6、36)；在第一傳送腔和第二傳送腔(4、5)中以及第一存儲腔和第二存儲腔(2、3)中的運送裝置，運送裝置將...
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