技術(shù)編號(hào):3308167
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。提供生產(chǎn)設(shè)備用于在箔(FO)上生產(chǎn)產(chǎn)品。該生產(chǎn)設(shè)備包括有潔凈室形成的沉積區(qū)(10),其中排列至少第一和第二沉積設(shè)備(21,22)用于在箔上沉積一層材料。生產(chǎn)設(shè)備還包括至少一個(gè)加工設(shè)備(31)用于加工所述沉積的層,所述加工設(shè)備排列在所述沉積區(qū)以外并且包括具有遠(yuǎn)離所述沉積區(qū)、朝向轉(zhuǎn)向設(shè)備(41)的第一路徑(31a)和從所述轉(zhuǎn)向設(shè)備回到所述沉積區(qū)的第二路徑(31b)的加工軌跡。專利說(shuō)明[0001]發(fā)明背景發(fā)明領(lǐng)域[0002]本發(fā)明涉及生產(chǎn)設(shè)備。[0003]本發(fā)明...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。