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拼版蒸鍍掩模的制造方法及由此所得拼版蒸鍍掩模以及有機半導體元件的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3307950

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本發(fā)明提供一種即使在大型化的情況下也能夠滿足高精細化和輕量化二者的拼版蒸鍍掩模的制造方法。配置于框體內(nèi)的開口空間的多個掩模分別由設有縫隙的金屬掩模、和位于該金屬掩模的表面且縱橫配置多列與要蒸鍍制作的圖案對應的開口部的樹脂掩模構(gòu)成,在其形成上,在所述框體上安裝了各金屬掩模及用于制作所述樹脂掩模的樹脂薄膜材料之后,通過對所述樹脂薄膜材料進行加工,縱橫地形成多個與要蒸鍍制作的圖案對應的開口部,制造上述構(gòu)成的拼版蒸鍍掩模。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及。 ...
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