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導(dǎo)電玻璃超低溫循環(huán)鍍膜裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3301902

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本實用新型公開了一種導(dǎo)電玻璃超低溫循環(huán)鍍膜裝置,包括鍍膜單元,所述鍍膜單元至少為首尾相連的兩個,鍍膜單元包括垂直設(shè)置的冷卻水槽、貼合設(shè)置在冷卻水槽側(cè)面的永磁鐵,與永磁鐵正面相對設(shè)置有銅質(zhì)的靶材基座,朝向永磁鐵的靶材基座內(nèi)表面設(shè)有與永磁鐵位置對應(yīng)的靶材,待鍍膜的導(dǎo)電玻璃位于永磁鐵與靶材之間,靶材基座外表面設(shè)有回旋布置的電加熱管,所述電加熱管連接有用于控制鍍膜溫度的溫控系統(tǒng)。本實用新型通過設(shè)置至少兩個首尾相連的鍍膜單元,且控制每個鍍膜單元的鍍膜溫度在160℃左...
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