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化學(xué)氣相沉積爐的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3300953

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本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)氣相沉積爐,其包括爐體;上爐蓋,設(shè)置在爐體上部,與爐體密封且可拆裝式固定連接;下爐蓋,設(shè)置在爐體下部,與爐體密封可拆裝式固定連接;以及下爐蓋升降機(jī)構(gòu),與下爐蓋固定連接,以使下爐蓋在脫開固定的爐體后帶動(dòng)下爐蓋降落以進(jìn)行下出料、以及帶動(dòng)出料后的下爐蓋上升以與爐體結(jié)合。所述化學(xué)氣相沉積爐還可包括前后推送機(jī)構(gòu),設(shè)置于下爐蓋的正下方,前后推送機(jī)構(gòu)使下爐蓋升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)下降的下爐蓋落在其上并前后移動(dòng)到至外圍,以進(jìn)行出裝料。爐體、上爐蓋、下爐蓋均可...
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