技術(shù)編號(hào):3300953
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)氣相沉積爐,其包括爐體;上爐蓋,設(shè)置在爐體上部,與爐體密封且可拆裝式固定連接;下爐蓋,設(shè)置在爐體下部,與爐體密封可拆裝式固定連接;以及下爐蓋升降機(jī)構(gòu),與下爐蓋固定連接,以使下爐蓋在脫開固定的爐體后帶動(dòng)下爐蓋降落以進(jìn)行下出料、以及帶動(dòng)出料后的下爐蓋上升以與爐體結(jié)合。所述化學(xué)氣相沉積爐還可包括前后推送機(jī)構(gòu),設(shè)置于下爐蓋的正下方,前后推送機(jī)構(gòu)使下爐蓋升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)下降的下爐蓋落在其上并前后移動(dòng)到至外圍,以進(jìn)行出裝料。爐體、上爐蓋、下爐蓋均可...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。