化學(xué)氣相沉積爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)氣相沉積爐，其包括：爐體；上爐蓋，設(shè)置在爐體上部，與爐體密封且可拆裝式固定連接；下爐蓋，設(shè)置在爐體下部，與爐體密封可拆裝式固定連接；以及下爐蓋升降機(jī)構(gòu)，與下爐蓋固定連接，以使下爐蓋在脫開固定的爐體后帶動(dòng)下爐蓋降落以進(jìn)行下出料、以及帶動(dòng)出料后的下爐蓋上升以與爐體結(jié)合。所述化學(xué)氣相沉積爐還可包括：前后推送機(jī)構(gòu)，設(shè)置于下爐蓋的正下方，前后推送機(jī)構(gòu)使下爐蓋升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)下降的下爐蓋落在其上并前后移動(dòng)到至外圍，以進(jìn)行出裝料。爐體、上爐蓋、下爐蓋均可采用水冷夾層、保溫層。由此，能夠避免在反復(fù)拆裝的過程中爐體的相互錯(cuò)位；出裝料安全、可靠，操作方便；爐內(nèi)的熱場穩(wěn)定并提高了高溫工作安全性。
【專利說明】化學(xué)氣相沉積爐
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及一種熱處理設(shè)備，尤其涉及一種化學(xué)氣相沉積爐。
【背景技術(shù)】
[0002]目前應(yīng)用到化學(xué)氣相沉積的設(shè)備主要采用中部出爐或者上部出爐。例如，于2011年12月7日授權(quán)公告的中國專利CN202063992U公開了一種化學(xué)氣相沉積爐，其中爐本體中的上爐體外一側(cè)與爐體提升機(jī)構(gòu)連接而爐蓋的上端與設(shè)置在上爐體側(cè)面的爐蓋提升機(jī)構(gòu)連接，由于爐本體采用爐蓋、上爐體、下爐體、爐底結(jié)構(gòu)，故這種化學(xué)氣相沉積爐為中部開爐方式，該種中部開爐方式的爐體結(jié)構(gòu)對(duì)于出裝料均不方便，操作難度大，且安全危險(xiǎn)性高。此外，上爐體以及爐蓋在反復(fù)拆裝的過程中容易導(dǎo)致爐體相互錯(cuò)位。
[0003]此外，化學(xué)氣相沉積爐一般的使用的溫度都比較高，且使用過程中一般會(huì)存在兩個(gè)不同的熱場，一個(gè)為熔料熱場也就是所說的坩堝區(qū)域，一個(gè)為沉積熱場，即沉積區(qū)?；瘜W(xué)氣相沉積的工藝決定了化學(xué)氣相沉積爐有兩個(gè)不同的熱場，且溫度比較高，這對(duì)確保爐內(nèi)的穩(wěn)定的熱場并同時(shí)保證其高溫工作安全性提出了挑戰(zhàn)。因此，某些群體會(huì)賞識(shí)在化學(xué)氣相沉積爐上的進(jìn)一步改進(jìn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]鑒于【背景技術(shù)】中存在的問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種化學(xué)氣相沉積爐，其便于出裝料、操作容易、操作安全。
[0005]本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種化學(xué)氣相沉積爐，其能夠避免在反復(fù)拆裝的過程中爐體的相互錯(cuò)位。
[0006]本實(shí)用新型的再一目的在于提供一種化學(xué)氣相沉積爐，其能夠確保爐內(nèi)的穩(wěn)定的熱場并同時(shí)提高了高溫工作安全性。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)氣相沉積爐，其包括:爐體；上爐蓋，設(shè)置在爐體上部，與爐體密封且可拆裝式固定連接；下爐蓋，設(shè)置在爐體下部，與爐體密封可拆裝式固定連接；以及下爐蓋升降機(jī)構(gòu)，與下爐蓋固定連接，以使下爐蓋在脫開固定的爐體后帶動(dòng)下爐蓋降落以進(jìn)行下出料、以及帶動(dòng)出料后的下爐蓋上升以與爐體結(jié)合。
[0008]優(yōu)選地，所述化學(xué)氣相沉積爐還可包括:前后推送機(jī)構(gòu)，設(shè)置于下爐蓋的正下方，前后推送機(jī)構(gòu)使下爐蓋升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)下降的下爐蓋落在其上并前后移動(dòng)到至外圍，以進(jìn)行出裝料。
[0009]優(yōu)選地，爐體包括爐體殼、水冷夾層、保溫層、保溫層固定殼；上爐蓋包括上爐蓋殼、水冷夾層、保溫層、保溫層固定殼；以及下爐蓋包括下爐蓋殼、水冷夾層、保溫層、保溫層固定殼。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果如下:
[0011]采用底部出爐的方式，能夠避免在反復(fù)拆裝的過程中爐體的相互錯(cuò)位；
[0012]地面設(shè)有前后推送機(jī)構(gòu)，將下爐蓋采用前后推送機(jī)構(gòu)移至外圍，進(jìn)行出裝料，安全、可靠，操作方便。
[0013]爐體、上爐蓋、下爐蓋均可采用水冷夾層、保溫層，能夠確保爐內(nèi)的穩(wěn)定的熱場并同時(shí)提高了高溫工作安全性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐的立體圖；
[0015]圖2為爐體的爐體殼、水冷夾層、保溫層、保溫層固定殼的示意圖；
[0016]圖3為上爐蓋的上爐蓋殼、水冷夾層、保溫層、保溫層固定殼的示意圖；
[0017]圖4為下爐蓋的下爐蓋殼、水冷夾層、保溫層、保溫層固定殼的示意圖；
[0018]圖5為各加熱區(qū)的三 個(gè)加熱器的分布示意圖。
[0019]其中，附圖標(biāo)記說明如下:
[0020]I爐體5下爐蓋升降機(jī)構(gòu)
[0021]11爐體殼51驅(qū)動(dòng)器
[0022]12水冷夾層 52滾珠絲桿
[0023]13保溫層53導(dǎo)塊
[0024]14保溫層固定殼54十字換向器
[0025]15加熱器55固定架
[0026]16水冷電極 551位置調(diào)整塊
[0027]2上爐蓋56連桿
[0028]21吊耳57減速機(jī)
[0029]22上爐蓋殼 58導(dǎo)向機(jī)構(gòu)
[0030]23水冷夾層 581導(dǎo)軌
[0031]24保溫層582滑塊
[0032]25保溫層固定殼583止擋塊
[0033]26尾氣出口 59換向器
[0034]3下爐蓋6前后推送機(jī)構(gòu)
[0035]31下爐蓋殼 61底座
[0036]32水冷夾層 62導(dǎo)軌
[0037]33保溫層63驅(qū)動(dòng)器
[0038]34保溫層固定殼64滾珠絲桿
[0039]35輪對(duì)65絲桿螺母
[0040]36卡扣部66減速機(jī)
[0041]4支撐架67限位塊
[0042]41側(cè)支架68聯(lián)軸器
[0043]411橫梁7液壓夾具
[0044]412立柱8連接件
[0045]42連接梁9連接件
【具體實(shí)施方式】[0046]下面參照附圖來詳細(xì)說明根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐。
[0047]參照圖1，根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐包括:爐體I ;上爐蓋2，設(shè)置在爐體I上部，與爐體I密封且可拆裝式固定連接；下爐蓋3，設(shè)置在爐體I下部，與爐體I密封可拆裝式固定連接；以及下爐蓋升降機(jī)構(gòu)5，與下爐蓋3固定連接，以使下爐蓋3在脫開固定的爐體I后帶動(dòng)下爐蓋3降落以進(jìn)行下出料、以及帶動(dòng)出料后的下爐蓋3上升以與爐體I結(jié)合。本爐體I采用底部出料的方式，安全、可靠，操作方便，且能夠避免在反復(fù)拆裝的過程中爐體的相互錯(cuò)位。
[0048]在爐體I的一實(shí)施例中，參照圖2，爐體I包括爐體殼11、水冷夾層12、保溫層13、保溫層固定殼14。化學(xué)氣相沉積爐一般的使用的溫度都比較高，且使用過程中一般會(huì)存在兩個(gè)不同的熱場，一個(gè)為熔料熱場也就是所說的坩堝區(qū)域，一個(gè)為沉積熱場，即沉積區(qū)?；瘜W(xué)氣相沉積的工藝決定了有兩個(gè)不同的熱場，且溫度比較高，爐體I采用水冷夾層12、保溫層13的結(jié)構(gòu)，可以使得化學(xué)氣相沉積爐既能保證高溫又能保證爐體I不被融化，保證了化學(xué)氣相沉積爐的高溫安全性。
[0049]在爐體I的一實(shí)施例中，優(yōu)選地，爐體I設(shè)有進(jìn)出水管的接口(未示出)，進(jìn)出水管接口連通于水冷夾層12，進(jìn)出水管接口采用低進(jìn)高出的方式連接水管。優(yōu)選地，在爐體I上設(shè)有預(yù)留口。
[0050]在爐體I的一實(shí)施例中，優(yōu)選地，爐體I分為上加熱區(qū)和下加熱區(qū)，以便于控制不同部位的溫度。更優(yōu)選地，參照圖5，各加熱區(qū)設(shè)有三個(gè)加熱器15。進(jìn)一步優(yōu)選地，各加熱區(qū)的三個(gè)加熱器15以等分360度圓布置。
[0051]在加熱器15的一實(shí)施例中，優(yōu)選地，加熱器15為石墨加熱器。更優(yōu)選地，各加熱器15分別通信連接于感溫器(未示出)。各加熱器的獨(dú)立控制可使加熱更均勻。更優(yōu)選地，感溫器為熱電偶。
[0052]在根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐中，參照圖1，各加熱器15連接兩個(gè)水冷電極16。更優(yōu)選地，水冷電極16為水冷銅電極。
[0053]在根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐中，對(duì)應(yīng)的兩個(gè)水冷電極16連接于變壓器(未示出)，變壓器安裝在后面所述的上支架上。將變壓器安裝在所述上支架上，可減小變壓器所占面積。
[0054]在根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐中，上爐蓋2與爐體I之間的可拆裝式固定連接為螺栓連接。
[0055]在根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐中，上爐蓋2上設(shè)有尾氣出氣口 26。此外，在爐體I的上爐蓋2可設(shè)有溫度測量接口、氣體進(jìn)氣口、壓力測量接口、測量反應(yīng)物質(zhì)的蒸發(fā)量接口以及預(yù)留口，其中各個(gè)口的數(shù)量與化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)所設(shè)置的沉積室的數(shù)量配套，一般是一個(gè)沉積室對(duì)應(yīng)著兩個(gè)溫度測量接口，一個(gè)反應(yīng)物質(zhì)的蒸發(fā)量測量接口，其中進(jìn)氣口的數(shù)量根據(jù)工藝要求決定，預(yù)留口 一般一到兩個(gè)即可。
[0056]在根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐中，參照圖1，上爐蓋2上設(shè)有吊耳21，用于吊裝。
[0057]在根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐中，參照圖3，上爐蓋2包括上爐蓋殼22、水冷夾層23、保溫層24、保溫層固定殼25。
[0058]在上爐蓋2的一實(shí)施例中，優(yōu)選地，上爐蓋2設(shè)有進(jìn)出水管的接口(未示出)，進(jìn)出水管接口連通于水冷夾層23，進(jìn)出水管接口采用低進(jìn)高出的方式連接水管。
[0059]在上爐蓋2的一實(shí)施例中，優(yōu)選地，上爐蓋2與爐體I密封連接采用密封圈(未示出)進(jìn)行密封連接。
[0060]在根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐中，參照圖1，下爐蓋3與爐體I之間的可拆裝式固定連接采用液壓夾具7實(shí)現(xiàn)。液壓夾具7可以沿周向等間隔布置，從而在將下爐蓋3的法蘭與爐體I的法蘭夾緊時(shí)，夾具力分布均勻。此外液壓夾具7可以統(tǒng)一通信連接于同一控制裝置(未示出)，從而使得施加液壓夾緊力時(shí)統(tǒng)一控制，從而提高了夾緊力的均勻性以及開啟關(guān)閉時(shí)的同步性，從而有利于下爐蓋3打開時(shí)的平衡。
[0061 ] 在下爐蓋3的一實(shí)施例中，參照圖4，下爐蓋3包括下爐蓋殼31、水冷夾層32、保溫層33、保溫層固定殼34。
[0062]在下爐蓋3的一實(shí)施例中，優(yōu)選地，下爐蓋3設(shè)有進(jìn)出水管的接口(未示出)，進(jìn)出水管接口連通于水冷夾層32，進(jìn)出水管接口采用低進(jìn)高出的方式連接水管。在爐體I的下爐蓋3可設(shè)有溫度測量接口、氣體進(jìn)氣口，預(yù)留口。其中各個(gè)口的數(shù)量與化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)所設(shè)置的坩堝與沉積室的數(shù)量配套，一般是一個(gè)坩堝對(duì)應(yīng)著三個(gè)溫度測量接口，一個(gè)沉積室對(duì)應(yīng)2個(gè)溫度測量接口，其中進(jìn)氣口的數(shù)量根據(jù)工藝要求決定，預(yù)留口 一般一到兩個(gè)即可。
[0063]在下爐蓋3的一實(shí)施例中，優(yōu)選地，下爐蓋3與爐體I之間密封的密封采用密封圈(未示出)來實(shí)現(xiàn)。
[0064]在根據(jù)本實(shí)用新型所述的化學(xué)氣相沉積爐的一實(shí)施例中，參照圖1，所述化學(xué)氣相沉積爐還可包括支撐架4。支撐架4可包括兩個(gè)側(cè)支架41和兩個(gè)連接梁42。兩個(gè)側(cè)支架41設(shè)置于爐體I相反兩側(cè)，各側(cè)支架41包括:一橫梁411 ；以及至少兩個(gè)立柱412,固定連接于該橫梁411。兩個(gè)連接梁42連接在兩個(gè)側(cè)支架41的橫梁411之間；其中，兩個(gè)側(cè)支架41的橫梁411和兩個(gè)連接梁42形成上支架，爐體I與所述上支架固定連接(例如通過連接件8)。相應(yīng)地，下爐蓋升降機(jī)構(gòu)5可包括:驅(qū)動(dòng)器51，設(shè)置于所述上支架；至少兩個(gè)滾珠絲桿52 ;至少兩個(gè)導(dǎo)塊53，各導(dǎo)塊53使相應(yīng)的滾珠絲桿52穿設(shè)且與相應(yīng)的絲桿螺母(未示出，絲桿螺母設(shè)置于相應(yīng)的滾珠絲桿52穿設(shè)該導(dǎo)塊53的位置處)固定連接以與滾珠絲桿52形成傳動(dòng)連接，各導(dǎo)塊53固定連接于下爐蓋3 (例如通過連接件9);至少兩個(gè)十字換向器54，設(shè)置在所述上支架上，連接驅(qū)動(dòng)器51和相應(yīng)滾珠絲桿52的一端；至少兩個(gè)固定架55，固定連接于相應(yīng)滾珠絲桿52的另一端；以及至少兩個(gè)連桿56，設(shè)置在所述上支架的上方且連接驅(qū)動(dòng)器51、相應(yīng)的十字換向器54，以及相應(yīng)的滾珠絲桿52。優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)器51為伺服電機(jī)。
[0065]在下爐蓋升降機(jī)構(gòu)5的一實(shí)施例中，參照圖1，下爐蓋升降機(jī)構(gòu)5還可包括:減速機(jī)57，以調(diào)整驅(qū)動(dòng)器51的輸出；以及換向器59，設(shè)置于所述上支架上且與減速機(jī)57連接，并與對(duì)應(yīng)的連桿56連接。參照圖1，換向器59可設(shè)置于所述上支架中的一個(gè)連接梁42上。
[0066]在根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐的一實(shí)施例中，參照圖1，立柱412為四個(gè)，每兩個(gè)立柱412分別位于相應(yīng)側(cè)支架41的兩端處；滾珠絲桿52為四個(gè)，爐體I相反兩側(cè)各為兩個(gè)滾珠絲桿52 ;導(dǎo)塊53為兩個(gè)，位于爐體I同一側(cè)的兩個(gè)滾珠絲桿52穿設(shè)對(duì)應(yīng)一個(gè)導(dǎo)塊53 ;十字換向器54為六個(gè),各滾珠絲桿52的一端對(duì)應(yīng)連接于一個(gè)十字換向器54 ;連桿56為六個(gè)，六個(gè)連桿56與對(duì)應(yīng)的十字換向器54，且其中兩個(gè)連桿56還與換向器59連接。[0067]在下爐蓋升降機(jī)構(gòu)5的一實(shí)施例中，參照圖1，下爐蓋升降機(jī)構(gòu)5還可包括導(dǎo)向機(jī)構(gòu)58，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)58可包括:導(dǎo)軌581，設(shè)置在對(duì)應(yīng)的立柱42上；以及滑塊582，設(shè)置在對(duì)應(yīng)的導(dǎo)軌581上并與該對(duì)應(yīng)的導(dǎo)軌581滑動(dòng)連接、且與對(duì)應(yīng)的導(dǎo)塊53固定連接。
[0068]在導(dǎo)向機(jī)構(gòu)58的一實(shí)施例中，參照圖1，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)58還可包括:止擋塊583，設(shè)置在對(duì)應(yīng)導(dǎo)軌581的末端。
[0069]在固定架55的一實(shí)施例中，參照圖1，固定架55設(shè)置有位置調(diào)整塊551，位置調(diào)整塊551固定連接于相應(yīng)滾珠絲桿52的所述另一端，以在安裝時(shí)調(diào)節(jié)滾珠絲桿52的位置，以確保滾珠絲桿52豎直。
[0070]在立柱42的一實(shí)施例中，各立柱42上安裝有行程開關(guān)(未示出)，通信連接于驅(qū)動(dòng)器51 (即與驅(qū)動(dòng)器51內(nèi)的控制器(未示出)通信連接)，用來控制下爐蓋3的升降行程。
[0071]在根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐中，參照圖1，化學(xué)氣相沉積爐還可包括:前后推送機(jī)構(gòu)6，設(shè)置于下爐蓋3的正下方，前后推送機(jī)構(gòu)6使下爐蓋升降機(jī)構(gòu)5帶動(dòng)下降的下爐蓋3落在其上并前后移動(dòng)到至外圍，以進(jìn)行出裝料。
[0072]在根據(jù)本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積爐中，參照圖1，其中下爐蓋3下方安裝有多個(gè)滾輪35以及卡扣部36。在前后推送機(jī)構(gòu)6的一實(shí)施例中，前后推送機(jī)構(gòu)6可包括:底座61 ；導(dǎo)軌62，設(shè)置于底座61上，在下爐蓋3下方的相應(yīng)滾輪35下落到導(dǎo)軌62上時(shí)，滾輪35跨在導(dǎo)軌62上并沿導(dǎo)軌62滾動(dòng)運(yùn)動(dòng)；驅(qū)動(dòng)器63，設(shè)置于底座61上；滾珠絲桿64，一端連接于驅(qū)動(dòng)器63而另一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于底座61 ；以及絲桿螺母65，與滾珠絲桿64形成傳動(dòng)連接，在下爐蓋3下方的滾輪35跨在相應(yīng)導(dǎo)軌62上時(shí)，下爐蓋3下方的卡扣部36與絲桿螺母65卡扣結(jié)合。優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)器63為伺服電機(jī)。優(yōu)選地，對(duì)應(yīng)同一導(dǎo)軌62的滾輪35為排列成一直線的多個(gè)。
[0073]在前后推送機(jī)構(gòu)6的一實(shí)施例中，參照圖1，前后推送機(jī)構(gòu)6還可包括:減速機(jī)66，一側(cè)與驅(qū)動(dòng)器63連接而另一側(cè)與滾珠絲桿64連接。前后推送機(jī)構(gòu)6還可進(jìn)一步包括:限位塊67,設(shè)置于導(dǎo)軌62的兩端。其中，減速機(jī)66與滾珠絲桿64可通過聯(lián)軸器68連接。
[0074]在前后推送機(jī)構(gòu)6的一實(shí)施例中，底座61可安裝有光電傳感器(未不出),所述光電傳感器通信連接于運(yùn)動(dòng)控制器(未示出)，運(yùn)動(dòng)控制器根據(jù)采集到的光電傳感器信號(hào)來控制驅(qū)動(dòng)器63 (運(yùn)動(dòng)控制器與驅(qū)動(dòng)器63內(nèi)(未示出)通信連接)，用來控制下爐蓋3的前后驅(qū)動(dòng)。
【權(quán)利要求】
1.一種化學(xué)氣相沉積爐，包括: 爐體(1); 上爐蓋(2)，設(shè)置在爐體(1)上部，與爐體(1)密封且可拆裝式固定連接；以及 下爐蓋(3)，設(shè)置在爐體(1)下部，與爐體(1)密封可拆裝式固定連接； 其特征在于，所述化學(xué)氣相沉積爐還包括: 下爐蓋升降機(jī)構(gòu)(5)，與下爐蓋(3)固定連接，以使下爐蓋(3)在脫開固定的爐體(1)后帶動(dòng)下爐蓋(3)降落以進(jìn)行下出料、以及帶動(dòng)出料后的下爐蓋(3)上升以與爐體(1)結(jié)合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于， 爐體(1)包括爐體殼(11)、水冷夾層(12)、保溫層(13)、保溫層固定殼(14)； 上爐蓋(2)包括上爐蓋殼(22)、水冷夾層(23)、保溫層(24)、保溫層固定殼(25);以及 下爐蓋(3)包括下爐蓋殼(31)、水冷夾層(32)、保溫層(33)、保溫層固定殼(34)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于，下爐蓋(3)與爐體(1)之間的可拆裝式固定連接采用液壓夾具(7)實(shí)現(xiàn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于， 所述化學(xué)氣相沉積爐還包括支撐架(4)，支撐架(4)包括: 兩個(gè)側(cè)支架(41)，設(shè)置于爐體(1)相反兩側(cè)，各側(cè)支架(41)包括:一橫梁(411):以及至少兩個(gè)立柱(412)，固定連接于該橫梁(411);以及 兩個(gè)連接梁(42 )，連接在兩個(gè)側(cè)支架(41)的橫梁(411)之間； 其中，兩個(gè)側(cè)支架(41)的橫梁(411)和兩個(gè)連接梁(42)形成上支架； 下爐蓋升降機(jī)構(gòu)(5)包括: 驅(qū)動(dòng)器(51)，設(shè)置于所述上支架； 至少兩個(gè)滾珠絲桿(52)； 至少兩個(gè)導(dǎo)塊(53)，各導(dǎo)塊(53)使相應(yīng)的滾珠絲桿(52)穿設(shè)且與相應(yīng)的絲桿螺母固定連接以與滾珠絲桿(52)形成傳動(dòng)連接，各導(dǎo)塊(53)固定連接于下爐蓋(3)； 至少兩個(gè)十字換向器(54)，設(shè)置在所述上支架上，連接驅(qū)動(dòng)器(51)和相應(yīng)滾珠絲桿(52)的一端； 至少兩個(gè)固定架(55)，固定連接于相應(yīng)滾珠絲桿(52)的另一端； 以及 至少兩個(gè)連桿(56)，設(shè)置在所述上支架上且連接驅(qū)動(dòng)器(51)、相應(yīng)的十字換向器(54)，以及相應(yīng)的滾珠絲桿(52)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于，下爐蓋升降機(jī)構(gòu)(5)還包括: 減速機(jī)(57)，與驅(qū)動(dòng)器(51)連接，以調(diào)整驅(qū)動(dòng)器(51)的輸出；以及 換向器(59)，設(shè)置于所述上支架上且與減速機(jī)(57)連接，并與對(duì)應(yīng)的連桿(56)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于，下爐蓋升降機(jī)構(gòu)(5)還包括導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(58 ),導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(58 )包括: 導(dǎo)軌(581)，設(shè)置在對(duì)應(yīng)的立柱(412)上；以及 滑塊(582 )，設(shè)置在對(duì)應(yīng)的導(dǎo)軌(581)上并與該對(duì)應(yīng)的導(dǎo)軌(581)滑動(dòng)連接、且與對(duì)應(yīng)的導(dǎo)塊(53)固定連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于，爐體(1)分為上加熱區(qū)和下加熱區(qū)，以便于控制不同部位的溫度，各加熱區(qū)設(shè)有三個(gè)加熱器(15)，各加熱區(qū)的三個(gè)加熱器(15)以等分360度圓布置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于，各加熱器(15)連接兩個(gè)水冷電極(16)，水冷電極(16)為水冷銅電極，對(duì)應(yīng)的兩個(gè)水冷電極(16)連接于變壓器，變壓器安裝在所述上支架上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于，化學(xué)氣相沉積爐還包括: 前后推送機(jī)構(gòu)(6)，設(shè)置于下爐蓋(3)的正下方，前后推送機(jī)構(gòu)(6)使下爐蓋升降機(jī)構(gòu)(5)帶動(dòng)下降的下爐蓋(3)落在其上并前后移動(dòng)到至外圍，以進(jìn)行出裝料。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于， 下爐蓋(3)下方安裝有多個(gè)滾輪(35)以及卡扣部(36)； 前后推送機(jī)構(gòu)(6)包括: 底座(61)； 導(dǎo)軌(62)，設(shè)置于底座(61)上，在下爐蓋(3)下方的相應(yīng)滾輪(35)落到導(dǎo)軌(62)上時(shí)，滾輪(35)跨在導(dǎo)軌(62)上并沿導(dǎo)軌(62)滾動(dòng)運(yùn)動(dòng)； 驅(qū)動(dòng)器(63),設(shè)置于底座(61)上； 滾珠絲桿(64)，一端連接于驅(qū)動(dòng)器(63 )而另一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于底座(61);以及絲桿螺母(65)，與滾珠絲桿(64)形成傳動(dòng)連接，當(dāng)下爐蓋(3)下方的滾輪(35)跨在相應(yīng)導(dǎo)軌(62)上時(shí)，下爐蓋(3)下方的卡扣部(36)與絲桿螺母(65)卡扣結(jié)合。
【文檔編號(hào)】C23C16/00GK203393225SQ201320444384
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年7月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月24日
【發(fā)明者】朱劉, 朱巨才, 于金鳳, 吳偉平, 陳松, 李欽 申請人:廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司