技術(shù)編號：3295852
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開，其中，制備方法包括步驟采用離子束濺射沉積法首先在絕緣襯底上鍍制上一層Sb薄膜層，然后在Sb薄膜層上鍍制一層Zn薄膜層，再在Zn薄膜層上鍍制一層Sb薄膜層，鍍制完成后，在具有惰性氣體的氣氛條件下，進行高溫原位熱處理制備得到銻化鋅基熱電薄膜。本發(fā)明的制備方法工藝簡單、重復(fù)性好、原材料利用率高，不僅能保證高溫退火過程中Zn的不缺失，同時可對銻化鋅基熱電薄膜各元素間進行高精度的控制和可控?fù)诫s，能夠有效優(yōu)化薄膜結(jié)構(gòu)和提高薄膜的熱電性能。專利說明[0001...
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