技術(shù)編號：3295017
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種單面拋光機，包括機殼，設(shè)置在所述機殼內(nèi)的拋盤、研磨壓盤、氣缸和旋轉(zhuǎn)電機，所述研磨壓盤設(shè)置在所述拋盤上方，所述氣缸和旋轉(zhuǎn)電機分別控制所述研磨壓盤上下動作和旋轉(zhuǎn)，并且所述研磨壓盤的內(nèi)部設(shè)置有中心氣缸。本發(fā)明采用中心氣缸加壓的方式使研磨壓盤的底部產(chǎn)生一定量的變形量，從而提高晶片厚度的一致性。專利說明單面拋光機[0001]本發(fā)明涉及拋光機，特別涉及一種單面拋光機。背景技術(shù)[0002]半導(dǎo)體晶片(如硅片、砷化鎵、鍺片、藍(lán)寶石、磷化銦等)拋光時，單片拋...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。