技術(shù)編號(hào):3290449
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。具體而言,本發(fā)明涉及用于蝕刻多層金屬膜的蝕刻劑組合物,其中所述多層金屬膜包括由Cu或Cu合金組成的一或多個(gè)層和由Mo或Mo合金組成的一或多個(gè)層,且所述蝕刻劑組合物包含數(shù)量從約50wt%至約80wt%的磷酸;數(shù)量從約0.5wt%至約10wt%的硝酸;數(shù)量從約4wt%至約30wt%的醋酸;數(shù)量從約0.5wt%至約6wt%的含氯化合物;以及就所述蝕刻劑組合物的總重量而言占剩余量的水,以及用于通過(guò)使用所述蝕刻劑組合物蝕刻所述多層金屬膜的方法。專(zhuān)利說(shuō)明 ...
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