技術(shù)編號(hào)：3289837
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種用于原子層沉積和化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的使用點(diǎn)閥歧管（POU閥歧管），其允許多個(gè)前體通過共同的出口被輸送到半導(dǎo)體處理室。該歧管可具有多個(gè)前體入口和清除氣體入口。該歧管可配置成使得當(dāng)清除氣體按照路線通過該歧管時(shí)歧管中存在零死角，并且可以提供POU閥兩側(cè)交替的安裝位置。一個(gè)或多個(gè)內(nèi)部流動(dòng)路徑容積可包括彎頭特征。專利說明用于原子層沉積和化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的使用點(diǎn)閥歧管 相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用[0001]本申請(qǐng)根據(jù)35U.S.C§ 119 (e)要求美國(guó)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。