技術(shù)編號(hào):3287726
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明通過(guò)使沉積反應(yīng)發(fā)生在密封的坩堝內(nèi)部而不是水冷反應(yīng)器的整個(gè)空腔內(nèi)部而克服了西門(mén)子反應(yīng)器的限制。坩堝本身位于筒形反應(yīng)器內(nèi)部,其在坩堝和反應(yīng)器壁之間可具有熱屏蔽件,以顯著減少輻射能損耗。此外,坩堝中沉積表面積與空腔容積的比率比西門(mén)子反應(yīng)器中柱沉積表面積與整個(gè)空腔容積的比率要高得多,這導(dǎo)致氣體分子與沉積表面更高的接觸百分比。這又導(dǎo)致氣體中材料至沉積表面上材料的更高的實(shí)際轉(zhuǎn)化率。專(zhuān)利說(shuō)明用于經(jīng)由化學(xué)氣相沉積處理的材料生產(chǎn)的筒形反應(yīng)器[0001]本專(zhuān)利申請(qǐng)通過(guò)引...
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