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沉積方法及裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3287507

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本發(fā)明首先涉及一種在基底(11)上沉積由有機原始材料構(gòu)成的層的方法,其中,將有機原始材料作為形式為載氣流中的懸浮粒子的氣溶膠送入蒸發(fā)器(1),所述懸浮粒子從而在該蒸發(fā)器內(nèi)與由溫控裝置加熱的傳熱面(15)接觸并在經(jīng)過一段亦與該傳熱面(15)的溫度有關(guān)的平均停留時間后蒸發(fā),其中,以該載氣為輸出氣流將由此產(chǎn)生的蒸氣自該蒸發(fā)器(1)送入處理室(10),該蒸氣在該處理室內(nèi)于該基底(11)表面發(fā)生冷凝并形成層。為了減小氣溶膠蒸發(fā)所產(chǎn)生的蒸氣隨時間的波動率,本發(fā)明提出如...
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