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一種氧化鋅薄膜的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3286629

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本發(fā)明公開了,包括如下步驟(1)向放置襯底的原子層沉積設(shè)備反應(yīng)腔中通入含鋅前驅(qū)體源,含鋅前驅(qū)體源中的鋅原子吸附于襯底表面;(2)通入含氮前驅(qū)體源,然后通過(guò)等離子體將含氮前驅(qū)體源電離,或?qū)⒔?jīng)過(guò)等離子體電離的含氮前驅(qū)體源通入反應(yīng)腔中,電離后含氮前驅(qū)體源中的氮原子部分沉積,與襯底表面的鋅原子形成氮鋅共價(jià)鍵;(3)重復(fù)步驟(1)和步驟(2)即可逐層生長(zhǎng)氮化鋅薄膜;(4)將氮化鋅薄膜進(jìn)行熱氧化,或者向反應(yīng)腔中通入含氧前驅(qū)體源,獲得氧化鋅薄膜。本發(fā)明通過(guò)等離子體將氮源...
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