技術編號：3285548
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種金屬有機物化學氣相沉積設備噴淋盤清潔裝置及其方法，清潔毛刷安裝板4安裝到旋轉電機5的旋轉軸上，清潔毛刷8固定安裝于清潔毛刷安裝板4上，清潔毛刷安裝板4安裝于清掃廢物收集盤3內，抽氣管路6一端與清掃廢物收集盤3連接，另一端與抽氣裝置7連接。清潔裝置與噴淋盤外形相似、大小相同，在清潔噴淋盤時，不需要打開MOCVD設備的手套箱，能夠對噴淋盤進行整體式的清潔，清洗廢物落入清潔裝置的廢物收集盤中，由抽氣裝置吸走排出，清潔噴淋盤的這一操作過程可以成為薄...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。