技術(shù)編號：3281029
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及晶體超光滑精密加工方法，尤其是涉及。背景技術(shù)高能超短脈沖激光等技術(shù)除了要求諸如YCOB、KDP、LBO等晶體擁有良好的表面粗糙度以便于鍍膜之外，在強激光入射時不能因晶體表面有劃痕或沙眼等缺陷而造成對激光的吸收、散射。因此在保證晶體表面達到埃量級粗糙度之外，需要盡量控制晶體亞表面劃痕的數(shù)量。這類晶體一般本身質(zhì)地較軟(莫氏硬度6.5左右)，傳統(tǒng)的拋光方法很容易在晶體表面留下細小劃痕或者僅僅具有光滑表面，但在表層之下的亞表層殘留眾多劃痕損傷。目前國內(nèi)并...
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