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一種鍍膜設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3274279

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本實(shí)用新型涉及鍍膜設(shè)備,具體涉及一種光學(xué)組件的鍍膜設(shè)備。背景技術(shù)隨著工業(yè)不斷的發(fā)展,以及科技產(chǎn)品日趨輕薄短小的需求下,鍍膜技術(shù)在各種產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用日趨廣泛,例如金屬加工業(yè)、半導(dǎo)體業(yè)以及光電產(chǎn)業(yè)等等。由于鍍膜品質(zhì)及功能需求多樣化的趨勢,如何精密控制鍍膜技術(shù)成為應(yīng)用上的重點(diǎn)之一。現(xiàn)有的鍍膜設(shè)備具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成真空蒸鍍方式和濺鍍方式兩種方式。需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為...
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