技術(shù)編號：3272244
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種波能真空鍍覆裝置。目前已有以激光為能源通過真空濺射和離子注入鍍覆方式制取大面積均勻納米級具有特定功能或特性薄膜(如金剛石膜、超導膜等)的裝置，存在制備速度慢的缺點。本實用新型的目的是提供一種可快速制備大面積均勻納米功能膜的裝置。本實用新型的技術(shù)解決方案是它是在真空罩的罩體上分別設(shè)有激光入射窗口、抽氣口、紅外光擴束窗口、充氣窗口、靶體動力輸入口、檢驗窗口、碘鎢燈、觀察窗口、靶體電極、襯底電極、襯底動力輸入口，在對應靶體動力輸入口和襯底動力輸...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。