技術(shù)編號(hào)：3266501
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及清洗方法、清洗裝置及電光學(xué)裝置。背景技術(shù) 低分子有機(jī)EL裝置中，在玻璃基板上形成有由低分子有機(jī)材料構(gòu)成的發(fā)光層。該由低分子有機(jī)材料構(gòu)成的發(fā)光層利用蒸鍍法形成。蒸鍍法是在高真空中加熱蒸發(fā)材料的小片，使之在基板上作為薄膜凝結(jié)的方法。利用蒸鍍法形成的發(fā)光層由于要防止有機(jī)材料附著在發(fā)光層的形成區(qū)域以外的區(qū)域上，因此需要配置蒸鍍掩模而進(jìn)行。另外，由于要防止有機(jī)材料在蒸鍍小室的內(nèi)壁等上的附著，因此需要配置防附著板而進(jìn)行。但是，在進(jìn)行了多次的蒸鍍處理后，在作為...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。