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用于硬質(zhì)薄片研磨拋光加工的載物盤的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3265218

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本實(shí)用新型涉及一種研磨拋光中的工裝結(jié)構(gòu),尤其是能防止研磨過(guò)程中產(chǎn)生的熱對(duì)硬質(zhì)薄片造成影響的一種用于硬質(zhì)薄片研磨拋光加工的載物盤。背景技術(shù)石英晶體是目前世界上用量最大的晶體材料,利用晶體本身具有的物理特性制造出的電子元器件得到了廣泛的使用,這些電子元器件在現(xiàn)有的各領(lǐng)域中起到重要的作用,在數(shù)字電路、電子產(chǎn)品及通訊設(shè)備領(lǐng)域均占據(jù)重要的一環(huán)。為順應(yīng)晶體制造時(shí)頻率產(chǎn)生諧振的要求,對(duì)石英晶體的加工制造,特別是控制石英晶體厚度的加工就成了一道必不可少的環(huán)節(jié),而對(duì)晶片進(jìn)行...
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