技術(shù)編號(hào)：3262182
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及為了制造有機(jī)EL設(shè)備而用于相對(duì)于基板配置金屬掩模的掩模對(duì)準(zhǔn)，尤其涉及利用了掩模的框架的一部分的掩模對(duì)準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)。背景技術(shù)作為制造有機(jī)EL (電致發(fā)光)設(shè)備的有力的方法有真空蒸鍍法。在該真空蒸鍍中，需要將基板和掩模對(duì)準(zhǔn)。另外，近年來，對(duì)于有機(jī)EL設(shè)備，其處理基板的大型化的風(fēng)浪不斷涌來，例如，G6世代的基板尺寸是1500mmX 1800mm,隨之，在基板尺寸的大型化的同時(shí)，當(dāng)然掩模也大型化，其尺寸甚至達(dá)到了 2000mmX2000mm左右。尤其是在使...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。